(原标题:中芯世界搞定7nm EUV光刻机?官方称报导不实)
半导体工艺的前进一向备受重视,尤其是国产半导体技能距离仍然很大,每一步都走得很困难,每一步都令人鼓舞。
日前,韩国新闻媒体报导称,国内最大代工厂中芯世界的董事长周子学博士在韩国访问期间泄漏,现已与荷兰光刻机巨子ASML处理了7nm EUV极紫外光刻机的供给问题。
不过,中芯世界方面发表声明称,《BusinessKorea》等韩国媒体发布的报导中“引证”了中芯世界董事长周子学博士在韩国参会时对EUV事宜的表态,此类报导违反现实,纯属捏造。
中芯世界着重,周子学董事长仅参加了本月“中韩工商首领和前高官对话”内部会议环节,期间并未承受任何媒体采访,在发言中也从未提及EUV事宜。
至于EUV光刻机的详细发展,中芯世界未发表更多概况。
上一年上半年层有外媒报导称,中芯世界现已向ASML订货了一台EUV光刻机,单价1.2亿美元,估计2019年头交给,但在不久前又有说法称,ASML已中止对中芯世界供给EUV光刻机,ASML则回应称不是停供而是延期,主要是在预备该国政府的出口请求文本作业。
关于这一事情,中芯世界方面一直保持沉默,可能是涉及到商业协作秘要,不方便对外揭露,咱们也只能持续期待了。
中芯世界声明全文如下——
中芯世界关于韩国媒体涉EUV不实报导的声明
近来,《BusinessKorea》等韩国媒体发布报导,“引证”中芯世界董事长周子学博士在韩国参会时对EUV(极紫外光刻机)事宜的表态。中芯世界对此郑重声明,此类报导违反现实,纯属捏造。周董事长仅参加了本月“中韩工商首领和前高官对话”内部会议环节,期间并未承受任何媒体采访,在发言中也从未提及EUV事宜。
关于臆造及传达流言的媒体和个人,公司表明激烈斥责,将保存诉诸法令追责的权力。
特此声明。
中芯世界集成电路制作有限公司
2019年12月9日